多功能图案分析标样可用来放大倍数、识别边缘偏差和图像畸变等显微镜指标检测和校正。在75mm×25mm的载玻片上提供4种高精度的图案，方格精度为±0.1μm，圆点精度为±0.3μm.根据适用的放大倍数的不同，有三款标样供用户选择。MRS系列多功能检测标样功能应用：
1.电子显微镜——SEM的二次电子像和背散射像两种模式；基于SEM的FIB成像的放大倍数的校正。同时也可用于TEM的放大倍数的校正（直径3mm，厚度500μm）
2.扫描探针显微镜——STM、AFM等，图案花样的高度为100nm
3.光学显微镜——透射型、反射型、明暗场，提供不同的对比度和焦距。
4.成份分析——图案是在石英玻璃上制备的CrO2和Cr花样，可用于EDS、WDS、XRF、XPS和Auger等等。
5.粒径分析——尺寸不同的圆形、正方形和矩形系列花样。
产品编号
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校正倍数
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CPMRS-3
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10×～50,000×
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CPMRS-4
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10×～200,000×
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CPMRS-5
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1,500×～1,000,000×
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大量供应：MRS系列多功能标样
